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它的特点主要有: 1、泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵,后一级的入口与前一级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 的间隙,气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。 3、分子真空泵的优点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。
它的不足:抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障等,因此除特殊需要外,实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单,抽速大的扩散泵所代替。分子泵报价, 涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。
立式涡轮分子泵,泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很安全。接下来主要介绍这两种涡轮分子泵特点: 1、清洁,无油蒸汽返流; 2、使用方便; 3气体输送能力强; 4、适于超高真空应用; 5、高压力下性能良好; 6、循环的时间短;; 7、正常使用时间长; 8、设备费用高;9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露大气易引起事故;
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超高真空抽气系统中的氢分压突然升高
1.泵体未经烘烤除气;
低于150℃长时间烘烤去气;
2.冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高。
冷却水温应低于14℃,运转中保证冷却系统正常工作。
油蒸汽返流
1.突然停电或停泵时,泵内没有及时充入干燥气体;
在泵转数降至很大转速的一半时,应及时充入干燥气体;
2.前级泵返流严重。
降低前级返油率。
谱拓不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵,同时还拥有各种旋片泵,干泵,谱拓泵,多级谱拓泵,氦质谱检漏仪,真空计,质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。推出了一款全新涡轮分子泵TwisTorr305,它继承了TwisTorr系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,
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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例:由于高真空法兰的振动很强烈(~20nm),导致高倍率下的图像模糊不清;而集成了这款涡轮分子泵之后,振动变得更低(~5nm),使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。
电子显微镜的两幅图像对比:配备了涡轮分子泵(右)比未配备涡轮分子泵(左)时的图像要更清晰
高度可靠的新型涡轮分子泵
除了应用更先进的技术之外,也承袭了真空涡轮分子泵安全、耐用、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。
·在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能,保障其很高运行安全性。
·在轴承方面,的混合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高可靠性。
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