半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
气 气 高纯气体 高纯气 气多少钱一瓶 除氦气外,也可以用于配制深水作业用的呼吸混合气。
通常,在潜水员处于深水高压环境作业时,若采用普通压缩空气供氧,不但呼吸阻力高,而且压缩空气中的氮会部分溶解在血液中,当水深在40m以下时,会产生显著的作用,在80m左右,生理机能基本丧失,人体衰竭。
由于轻氦族气体(如氦、)对人体的能力很小或完全没有能力,可以用它们来代替氮配制潜水员深海作业用呼吸混合气。-氧或氦-氧呼吸混合气由于有较低的密度和黏度,使压力易于释放,呼吸阻力减小,能有效地降低潜水员的体能消耗。对于氦-氧呼吸混合气,由于声速较高,声音频率改变大,存在深水通讯问题。再者,氦的执导率高,增加了人仃热损失率,以至于常常必须使用有效的潜水衣和呼吸气预热器。在这方面,-氧呼吸混合气比氦-氧呼吸气好,因为它具有声音畸变小和传热性差的优点。-氧呼吸混合气适用于100-300m深水作业,超过300m,的密度增大,必须使用氦-氧呼吸混合气。氦-氧呼吸气已成功地在深海潜水作业,无论水深水浅,普遍采用氦-氧呼吸混合气。为了克服各自的缺陷和不足,正在研究采用、氦、氧按不同比例配制深海潜水呼吸气的可能。
氦气在半导体、液晶面板和光纤线制造中起着重要作用,可实现零部件的快速冷却,从而提高生产率,还能控制热传递速率,以改善生产效率并减少缺陷;此外,氦气还可在生产过程中充当载运气体。
作为磁共振和超导磁体的理想冷冻气体,氦气可实现-451华氏度的深冷温度,有效获取内脏和组织的高分辨率图像。
氦气在电弧温度条件下的惰性使其成为铝、不锈钢、铜和镁合金等高导热性材料焊接的理想气体,还可用作热处理过程中的淬火气体以及熔炉气体,提升零件耐性和质量
高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同。
例如对于氮,氢,,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;
而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;
对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。
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