通常VOCs的自燃烧温度较高，通过催化剂的活化，可降低VOCs燃烧的活化能，从而降低起燃温度，减少能耗，节约成本。其中部分污染物氧化分解；废气继续通过加热区（上层，可采用电加热方式或加热方式）升温，催化燃烧防爆，并维持在设定温度；其再进入催化层完成催化氧化反应，催化燃烧活性碳吸附装置，即反应生成CO2和H2O，并释放大量的热量，以达到预期的处理效果。工业上的催化剂都是由活性成分、助剂和载体等组成，其中活性组分及其分布、颗粒大小、催化剂载体对催化效果和寿命有很大的影响。用于催化燃烧VOCs的催化剂的活性成分可分为、非氧化物。
稳定运行状态下，气体体积膨胀对空速影响不大，因为一般而言VOCs含量不高，仅仅这部分气体的膨胀，体积流量的增加很少。虽然非催化剂成本低，热稳定性相对较好，但催化活性低、起燃温度高，难以实现工业应用。贵斤属催化剂具有其他金属的优越性，但是稳定性较差、价格昂贵，资源短缺，制约了其大规模应用。催化燃烧设备就是可燃性有机化合物在催化剂的作用下，在一定的温度条件下进行的燃烧反应废气治理设备。可燃物在催化剂作用下燃烧，与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较完全。
催化燃烧设备在净化废气的过程中，具有安全、、耗能少等特点，并且在使用中也可以利用余热，辅助完成净化，因而受到人们的喜爱，在功能工业尾气处理行业应用广泛。催化燃烧设备就是可燃性有机化合物在催化剂的作用下，在一定的温度条件下进行的燃烧反应废气治理设备。可燃物在催化剂作用下燃烧，与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较完全。通常VOCs的自燃烧温度较高，通过催化剂的活化，可降低VOCs燃烧的活化能，从而降低起燃温度，减少能耗，节约成本。
催化燃烧设备四大系统配置：在有机物废气的催化燃烧中，所要处理的有机物废气在高温下与空气混合易引起，安全问题十分重要。必须控制有机物与空气的混合比使之在下限。设备配有阻火除尘系统、防爆泄压系统、超温报警系统及先进自控系统。吸附有机物废气的活性炭层，可用催化燃烧后的废气进行脱附再生，吸附后的气体再送催化燃烧室进行净化，不需外部能量，运行费用低，节能。催化燃烧设备有以下四个优点：1。净化达97%，设备寿命长，阻力小。2。使用安全方便，设备中的除尘器、泄压孔等组件都有高温报警等保护设施。3。工作时只有风机消耗电功率，当废气浓度较低时，自动间歇补偿加热。4。余热可以用来烘干工艺制品，降低原烘道中的功率消耗，也可供工厂其它方面的热能回用。