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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。
每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。
如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。
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分子泵机组耗电：
2.38kW×6720h=年耗电15993.60度×1元/度
=15993.60元原来的耗电：
8.8kW×6720h=年耗电59136度×1元/度
=59136元通过上述计算，几乎当年就能从电费一项收回投资费用：
59136-15993.60=43142.40元
第二年使用分子泵机组电费节约赢利43142.40元。
该分子泵近乎免维护，所以如果考虑维护费用，经济效益更可观。该分子泵替换运用的成功，为节能减排贡献巨大力量，做到了制造应用与双赢，并且拓展了分子泵的应用领域。其他好处除了节省成本以外，通过对分子泵替换的圆排车所制造的节能灯进行测试，灯具在产品寿命和质量上也得到明显提高，通过质谱分析，系统的油污染得到降低，光谱等分析都显示，应用分子泵排气制造的灯具性能有很大的改善。
与此同时，根据在其他多家特种灯（金卤灯、航标灯等）、车灯、半导体照明灯客户的实际应用反馈，分子泵对降低生产能耗、提高产品性能和使用寿命等方面都起到明显的促进作用。在部分国内外爱发科的照明生产企业中的应用，分子泵都得到好评和大量替换配套。结语通过这个案例可以看出，将高压强分子泵机组直接用到圆排机上，实现了降耗节能、保证质量的目标，完全可以替代。
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噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168次测量得到的平均噪音为41dB(A)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
无论从科技或是经济发展的角度来看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。其中，分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一，广泛应用于IC生产制造的各个工艺。
下面小编就带您走进半导体产业链，并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的是集成电路制造，包括IC设计、IC制造以及IC封测；下游的半导体应用领域众多，半导体应用领域的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/。
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近日，真空推出了一款新型涡轮分子泵，便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长，而且采用了该公司开发的一项技术，使得真空设备更加耐用，振动水平更低，噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲，通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法，利用激光烧蚀把多余的材料去除，如此一来，转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理，来达到很佳的动平衡性。
与传统动平衡相比，用激光去除材料要准确得多，剩余不平衡会更低。而且在这个过程中，材料特性并不会受到影响。可以说，改变了传统的动平衡过程，将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡（左）和采用激光烧蚀段的激光动平衡（右）动平衡等级对比.据了解，通过现代化的自动平衡系统，涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%，从而大幅提高转子寿命，并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。
值得一提的是，激光烧蚀产生的颗粒，在加工过程中即可抽出和过滤掉，随后对激光平衡后的转子进行清洁，由于无需手动拧紧螺丝，所以确保了表面的很高清洁度，并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此，用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要更低振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。
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