就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施：
（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用专门的过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
（3） 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。
（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净厂房施工过程中应采取以下措施
（1）对关键部位宜进行样板制施工，待业主和监理工程师认可后大规模施工。
（2）管道、设备等安装及调试应在建筑装饰装修工程施工前完成，当不能提前时，应在饰面等施工前完成。
（3）应及时填写施工检查记录和施工验收记录以及其他应予填报的记录，做到文件与工程同步。
（4）对于特殊制作工序，必须制定特殊工序规定，施工人员应熟练掌握特殊工序的规定。
（5）对环境有要求的施工工序，应确保环境要求后，方可施工。
洁净层流罩的安装，应符合下列规定：
（1）安装前，应进行外观检查，无变形、脱落、断裂等现象；
（2）安装应采用独立的立柱或吊杆，并设有防晃动的固定措施，且不得利用相关设备或壁板支撑；
（3）直接安装在吊顶上的层流罩，其箱体四周与吊顶板之间应设有密封和隔振措施；
（4）垂直单向流层流罩的安装，其水平度偏差不得超过0.1%；水平单向流层流罩的安装，其垂直度偏差为±1㎜；高度允许偏差为±1mm；
（5）安装后，应进行不少于1.0h的连续试运转，检查各运转设备、部件和电气联锁功能等。
洁净室（区）内的温度、相对湿度测定结果，应符合下列要求：
（1）洁净室（区）内的温度、相对湿度的实测结果，应满足设计要求；
（2）按规定的检测点的实测结果的平均值，偏差值应为90%以上测点在的设计要求的精度范围内。
洁净室（区）与相邻房间和室外的静压差测试结果，应符合设计要求。
洁净室内的气流流型的测试，确认单向流、非单向流、混合流流型，符合设计和性能技术要求。